比较激光外表处理技能和电子束外表处理技能的异同点。
电子束、离子束、激光束是外表工程领域内的三大载体,号称三束改性。都具有高能量密度特性。
离子束加工是一种元素注入过程,具有辐照损害、喷丸作用、外表压缩、构成外表非晶态,构成弥散化合物质点等效应,而电子束与激光束的主要作用在高能量,没有辐照、外表压缩等特性。
1、加工原理:电子束和离子束的加工原理类似,都是产生撞击效应、溅射效应和 注入效应,然后实现加工;而激光束加工的机理是热效应。
2、加工装置:电子束和离子束类似,主要由电子枪体系、真空体系、控制体系、 和电源体系做成;而激光束是由激光器、电源、光学体系、机械体系等组成。
3、加工特点:
电子束: 束径小、能量密度高; 非接触加工,加工过程中工具与加工工件之间不存在显着的机械切削力,不产生微观 应力和变形; 被加工对象规模广; 电子束能量高,加工速度快、效率高; 电子束加工需要一套专用设备和真空体系,价格昂贵。
离子束: 加工精度和外表质量高;加工材料广泛;加工办法丰厚;性能好,易于实现自动化; 应用规模广泛,可根据加工要求挑选。
激光束: 加工精度高; 加工材料规模广;加工性能好;加工速度快、效率高; 价格昂贵 加工办法。
电子束; 电子束扫描曝光; 电子束投影曝光; 电子束外表改性。
离子束: 离子束溅射去除加工;离子束溅射镀膜加工; 离子束注入加工;离子束曝光加工。
激光束:加工精度高; 加工材料规模广; 加工性能好; 加工速度快、效率高; 价格昂贵。